製品・部品の出来映え検査で、ごく一般的に使われている検査方法として、製品の気密性を検査する目的の洩れ（リーク）検査工程があります。その洩れ（リーク）検査工程の中で、今回はヘリウム（He）リーク検査(Herium Leak Test)についてコメントします。
洩れ検査としては、先回コメントしたエアリーク検査や、水没リーク検査などがある中、検出精度の比較的高いのが、このHeリーク検査です。
Heリーク検査は、真空中のヘリウム分圧の変化から漏れを検知する測定方法です。他の検査方法が、体積、圧力、真空度などで判断するのに対し、作業者のスキルに依存することなく圧倒的な高感度・高精度が得られます。また、漏れが小さくなっても、判定時間を長く取る必要はないので早い検査が可能です。ヘリウムガスは安全で不活性、環境にも優しいクリーンな検査ができます。
ヘリウムリークテストは、ワ－ク内部に加圧した（検査圧力の）ヘリウム（He）を封入して、ワ－クの外側に漏れて出てきたヘリウムを、ヘリウム リ－ク デテクタで検出する方法です。ヘリウムリークディテクタは、ヘリウムガスを使用した漏れ検査において、漏れ量や漏れ箇所の特定を行うための検査装置です。
Heリーク検査は他のリーク検査方法と比較したとき、最大のメリットは、何といっても、検出精度が高いことです。
水没リーク検査、エアリーク検査の検出精度が10¹～10⁻²ml/minであること（洩れ値10¹ml/minは 20000ケの泡(径1mm)/min 検出相当、洩れ値10⁻²ml/minは 20ケの泡(径1mm)/min 検出相当）に対し、Heリーク検査は、その 100～1000倍の精度向上が見込めるものです。
このHeリーク検査の導入、管理方法等に関する 教育・指導・支援が コンサルティング対象となります。
