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PEC-KUMATA
(生産技術コンサルティングー熊田茂雄)
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CVD法について
半導体製造などで使われる薄膜形成法の一つとして、CVD法( 化学気相成長:Chemical Vapor Deposition )があります。 CVD法は、供給される原料ガスの蒸気圧と原料ガスの分解により生成された物質の蒸気圧との違いを利用した薄膜形成法です。...
固有技術教育
shigeokumata
4月15日
読了時間: 2分
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