shigeokumata3月13日1 分固有技術教育スパッタリングについて工具等のコーティングや、半導体や液晶、光学素子等の機能膜形成に用いられているスパッタリング(sputtering)は、物理的気相成長法(PVD)の一種で、真空中でプラズマを用いて成膜する技術です。 スパッタリングは、その材料選択の幅の広さ、高い密着性、制御のしやすさが特徴で...